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一年一度的半導體行業(yè)盛會——SEMICON CHINA進入開幕倒計時!英??狄惨褱蕚浜脦_啟一場充滿驚喜的“未來智能工廠檢測技術探秘之旅"!今天,官微君“小福"將化身專屬導游,奉上展臺超全攻略,帶您一起提前解鎖現場精彩!
第一站:CDG系列真空計+清潔組件
第一站,我們來到“真空世界"!在這里,CDG系列陶瓷電容式真空計是絕對的明星。它們就像一位位“真空守護者",以極耐腐蝕的超純陶瓷材料傳感器,超高精度和穩(wěn)定性,以及優(yōu)異的使用壽命,確保半導體制造環(huán)境的潔凈無瑕與長久可靠。
第二站:UL3000 Fab 氦氣檢漏儀
接下來,官微君將帶您來到“泄漏zhentan站"!專為半導體制造領域的專業(yè)要求而開發(fā)的UL3000 Fab 可移動式氦氣檢漏儀,擁有“纖細身材"和“chaoqiang大腦",能夠靈活穿梭于生產現場,快速定位泄漏點。無論是微小漏洞還是隱蔽問題,都逃不過它的“火眼金睛"!
第三站:Transpector CPX
第三站,我們來到“氣體實驗室"!Transpector CPX 殘余氣體分析儀(RGA)是這里的主角,這位“數據分析師",有著極快的測量速度和高探測靈敏度,能滿足如ALD、CVD、PVD等半導體工藝的嚴苛要求,實時監(jiān)測工藝氣體成分,確保生產過程的每一步都精準無誤。此外,相較上一代產品,其不僅系統(tǒng)體積減小了30%,能夠更輕松地集成在產線內,還通過行業(yè)的抽氣系統(tǒng)和溫控加熱組件簡化了系統(tǒng)復雜度,讓操作更加簡便。
第四站:智能工具黃金組合
接下來是UL系列檢漏儀的“智能工具樂園"!這里有:
SMART-Spray 氦氣噴槍
無線、無管,無障礙,讓氦氣檢漏更快、更準、更可靠。
I·BOOST 軟件
超真空模式下,節(jié)省高達50%的泄漏檢測時間,效率提升快到飛起!
SPRAY-CHECK 測試漏孔
快速驗證檢漏儀狀態(tài),確保每一臺設備都“健康上崗"。
第五站:fabguard 智能過程監(jiān)控軟件
最后一站,我們來到“智慧中樞"!fabguard 智能過程監(jiān)控軟件,是英福康面向半導體未來工廠智能化、數字化需求的一個chaoqiang數據工具包。
在它的助力下,工廠內所有的流程設備、傳感器與檢測設施的各類數據都可被實時記錄、傳輸、監(jiān)測,并進行自動分析,不僅能為工廠建立起一個全面的故障檢測機制,確保流程精準可靠,還能連通其他數據平臺為半導體生產流程優(yōu)化、工藝升級等提供科學的數據支持。想知道它是如何讓工廠變得更聰明嗎?快來一探究竟!